空气（富氧空气或氧气）的湿度、温度、流量、压力、发生器功率等条件都会导致臭氧浓度和产率的变化，如气体含水量（或露点）会明显影响臭氧浓度和产率。严重时根本不产生臭氧，还会导致设备损坏，臭氧发生器放电室温度越高，臭氧分解越快，臭氧浓度就越低，应该加强放电室的冷却效果。在通常放电气压小于0.08mpa的条件下，气压越高，臭氧浓度就越低，为使臭氧气体能够较好的溶解于水又保证一定的气压，气流量越大，臭氧浓度就越低，发生器功率越大，臭氧浓度越高。因此为使臭氧气体的浓度和产量相对稳定，应该保持上述条件。